发明名称 CMOS integrated circuit devices and substrates having buried silicon germanium layers therein and methods of making same
摘要
申请公布号 GB2400729(A) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 GB20040015350 申请日期 2001.01.04
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 GEUM-JONG * BAE;TAE-HEE * CHOE;SANG-SU * KIM;HWA-SUNG * RHEE;NAE-IN * LEE;KYUNG-WOOK * LEE
分类号 H01L21/335;H01L21/02;H01L21/336;H01L21/337;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/10;H01L29/786;H01L29/80;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/20 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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