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发明名称 SEMICONDUCTOR STRIPPING COMPOSITION CONTAINING 1,3-DICARBONYL COMPOUNDS
摘要
申请公布号 EP1349969(B1) 申请公布日期 2007.07.18
申请号 EP20010990020 申请日期 2001.12.04
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 WOJTCZAK, WILLIAM, A.;SEIJO, FATIMA, MA;BERNHARD, DAVID;NGUYEN, LONG
分类号 C23G5/036;C09K13/02;C11D3/20;C11D7/02;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;C11D9/04;C11D11/00;C23G5/02;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 C23G5/036
代理机构 代理人
主权项
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