| 摘要 |
ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、リソグラフィマスクを配置することができる物体視野に照明光を案内するように機能する。照明光学ユニットは、少なくとも２つの傾斜位置の間で切り換えることができる多数の個々のミラー（２６）を含む第１のファセットミラー（３６）を有する。個々のミラー（２６）は、照明光部分ビームを物体視野（５）に案内するための個々のミラー照明チャネル（３５ａ）を与える。照明光学ユニットの第２のファセットミラー（２０）は、照明光（１６）のビーム経路内で第１のファセットミラー（３６）の下流に配置される。第２のファセットミラー（２０）は、群ミラー照明チャネル（３５）を通じて第１のファセットミラー（３６）の個々のミラー（２６）の群（２４ａ）を物体視野（５）に結像することにそれぞれ寄与する複数のファセット（３４）を有する。群（２４ａ）の像は、物体視野（５）内で互いの上に重ね合わされる。個々のミラーの少なくとも一部（２６0）は、専用群ミラー照明チャネル（３５2，３５3）を通じて専用の第２のファセット（３４2，３４3）にそれぞれ関連付けられた個々のミラー群のうちの少なくとも２つの異なる群（２４ａ2，２４ａ3）に属する。【選択図】図１０ |
