发明名称 掺杂的氮化铝晶体及其制造方法
摘要 具有高电导率和迁移率的掺杂AlN晶体和/或AlGaN外延层,通过如下步骤进行制造:例如形成包含多种杂质物类的混合晶体,和电激活该晶体的至少一部分。
申请公布号 CN101331249A 申请公布日期 2008.12.24
申请号 CN200680045153.1 申请日期 2006.12.04
申请人 晶体公司 发明人 L·J·斯库瓦特;G·A·斯莱克
分类号 C30B29/40(2006.01) 主分类号 C30B29/40(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 李帆
主权项 1.形成掺杂AlN晶体的方法,该方法包括以下步骤:a.形成包含AlN和多种杂质物类的混合晶体;和b.电激活至少一部分混合晶体中的至少一种杂质物类以便形成掺杂AlN晶体。
地址 美国纽约