| 发明名称 | 微蚀刻组合物及使用它的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种微蚀刻组合物及使用它的方法。该微蚀刻组合物包含铜离子源、酸、腈化合物和卤离子源。包括有机溶剂、钼离子源、胺、多胺和丙烯酰胺在内的其它添加剂也可包含在本发明的组合物中。本发明还涉及一种微蚀刻铜或铜合金表面以增加铜表面对聚合材料的黏附性的方法，其包括使铜或铜合金表面与本发明的组合物接触，然后将聚合材料黏结至铜或铜合金表面的步骤。 | ||
| 申请公布号 | CN101331595A | 申请公布日期 | 2008.12.24 |
| 申请号 | CN200680047518.4 | 申请日期 | 2006.09.15 |
| 申请人 | 麦克德米德有限公司 | 发明人 | 史蒂芬·A·卡斯塔尔迪;冯可盛;奈尔什·卡帕迪亚 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01);C09K13/06(2006.01);C09K13/04(2006.01) | 主分类号 | H01L21/306(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 1.一种用于处理金属表面的微蚀刻组合物，其包含：a)铜离子源；b)酸；c)腈化合物；和d)卤离子源。 | ||
| 地址 | 美国康涅狄格州 | ||