发明名称
摘要
申请公布号 JP4403289(B2) 申请公布日期 2010.01.27
申请号 JP20030050983 申请日期 2003.02.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/088;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
地址