Symmetrischer piezoresistiver Drucksensor mit Stapler-ICs

摘要

Elektrisches und mechanisches Rauschen in einem mikroelektromechanisches System(MEMS)-Drucksensor werden durch die symmetrische Verteilung von Bondpads, leitfähigen Kontaktierungen und Zwischenverbindern und durch das Weglassen von im Stand der Technik verwendeten Bonddrähten zur Verbindung eines MEMS-Druckmesselements mit einem anwendungsspezifischen integrierten Schaltkreis (ASIC) reduziert. Die Bonddrähte werden durch Verwenden von leitfähigen Kontaktierungen eliminiert, um einen ASIC mit einem MEMS-Druckmesselement zu verbinden. Externes elektrisches Rauschen wird durch leitfähige Ringe unterdrückt, die Ausgabesignal-Bondpads umgeben, und durch eine leitfähige Schleife, die die leitfähigen Ringe und die Bondpads umgibt. Die leitfähigen Ringe und die Schleife werden mit einer festen Spannung oder Massepotential verbunden.