一种具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台

摘要

本发明公开了一种具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台。所述具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台包括固定在离子束刻蚀机真空腔体内的固定底座、传动座和基片台；所述固定底座上装有一摆动机构，以及由摆动机构通过齿轮副传动的传动座；所述传动座上通过轴承装有通水轴和多根行星轴，所述通水轴上装有太阳齿轮，所述行星轴的一端装有所述基片台；在基片台与所述传动座之间形成与所述通水轴串联连通的冷却水道；所述通水轴分别连通一进水管路和一出水管路而与所述冷却水道一起形成冷却水回路。本发明结构紧凑，在真空腔体中安装易于实现，基片台的冷却效果较好，提高了离子束刻蚀的均匀性。

主权项

一种具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台，其特征在于，包括固定在离子束刻蚀机真空腔体（1）内的固定底座（4）、传动座（6）和基片台（8）；所述固定底座（4）上装有一摆动机构（5），以及由摆动机构（5）通过齿轮副传动的传动座（6）；所述传动座（6）上通过轴承装有通水轴（13）和多根行星轴（9），所述通水轴（13）上装有太阳齿轮（21），所述行星轴（9）的一端装有所述基片台（8）；在基片台（8）与所述传动座（6）之间形成与所述通水轴（13）串联连通的冷却水道（23）；所述通水轴（13）分别连通一进水管路（14）和一出水管路（15）而与所述冷却水道（23）一起形成冷却水回路；所述摆动机构包括装在固定底座（4）内装有由摆动电机（3）驱动旋转的摆动轴（19），该摆动轴（19）顶端装有与所述传动座（6）相连的连接座（20）而使传动座（6）在摆动轴（19）的驱动下绕摆动轴（19）摆动；所述固定底座（4）上装有由一主动齿轮（18）啮合传动的传动齿轮（17），该传动齿轮（17）与装在传动座（6）的锥齿轮啮合传动而驱动传动座（6）绕通水轴（13）转动。