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发明名称
Electrostatic actuator, and electrostatic microrelay and other devices using the same
摘要
申请公布号
EP1308977(B1)
申请公布日期
2007.08.29
申请号
EP20020102543
申请日期
2002.11.06
申请人
OMRON CORPORATION
发明人
AKIBA, AKIRA;UNO, KEISUKE;JOJIMA, MASAO;SEKI, TOMONORI;SANO, KOJI
分类号
H01P1/12;B81B3/00;H01H59/00;H01P1/00;H02N1/00
主分类号
H01P1/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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