正型感光性树脂组合物、使用了它的膜的制造方法以及电子部件

摘要

本发明的正型感光性树脂组合物至少包含：(A)至少包含通式(1)表示的结构单元的聚硅氧烷化合物、(B)光产酸剂或醌二叠氮化合物、以及(C)溶剂。[式中，R^X为下述式表示的基团，R¹各自独立地为氢原子、碳数1以上且3以下的烷基、苯基、羟基、碳数1以上且3以下的烷氧基或碳数1以上且3以下的氟代烷基，b为1～3的整数、m为0～2的整数、n为1～3的整数，且b+m+n＝4。(X各自独立地表示氢原子或酸不稳定性基团，a为1～5的整数。)]通过该正型感光性树脂组合物的使用，能够提供具有高耐热性和耐热透明性的膜以及具有该膜的电子部件。[(R^X)_bR¹_mSiO_n/2]  (1)

主权项

一种正型感光性树脂组合物，其至少包含：作为(A)成分的至少包含通式(1)表示的结构单元的聚硅氧烷化合物，[(R^X)_bR¹_mSiO_n/2]   (1)式(1)中，R^X为下述式表示的基团，R¹各自独立地为氢原子、碳数1以上且3以下的烷基、苯基、羟基、碳数1以上且3以下的烷氧基或碳数1以上且3以下的氟代烷基，b为1～3的整数、m为0～2的整数、n为1～3的整数，且b+m+n＝4，X各自独立地为氢原子或酸不稳定性基团，a为1～5的整数，作为(B)成分的光产酸剂或醌二叠氮化合物、以及作为(C)成分的溶剂。