一种卧式多靶真空溅射或离子镀膜机

摘要

一种卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，包括镀膜机炉体、镀膜机中的传动输出部件、弧靶、溅射靶、真空抽吸口和工件架，镀膜机炉体内分为二个区域，区域一布置多个弧靶，多个弧靶设置在镀膜机炉体的下方靠近镀膜机炉体内壁，区域二布置多个溅射靶，多个溅射靶设置在镀膜机炉体中心上方的对应工件架中空位置的镀膜机炉体内腔中，工件架设置放置工件的转动件和动力输入机构，工件架进入镀膜机炉体内时转动件可以在弧靶和溅射靶之间通过，工件架的动力输入机构与镀膜机中的传动输出部件耦合而带动转动件转动，镀膜机炉体中心或靠近中心设有真空抽吸口。本发明有效防止弧靶与溅射靶的相互污染，提高了镀层效率和镀层质量。

主权项

一种卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：包括镀膜机炉体、镀膜机中的传动输出部件、弧靶、溅射靶、真空抽吸口和一个工件架，镀膜机炉体内分为二个区域，区域一布置多个弧靶，多个弧靶设置在镀膜机炉体靠近镀膜机炉体内壁，区域二布置多个溅射靶，多个溅射靶设置在镀膜机炉体对应所述工件架内部中空位置的镀膜机炉体内腔中，工件架设置放置工件的转动件和动力输入机构，工件架进入镀膜机炉体内时转动件可以在弧靶和溅射靶之间通过，而溅射靶进入到工件架的内部中空位置，工件架的动力输入机构与镀膜机中的传动输出部件耦合而带动转动件转动，镀膜机炉体中心或靠近中心设有真空抽吸口；所述转动件包括转笼行星架和转笼，转笼行星架安装多个转笼驱动部件，每个转笼驱动部件装有转笼，动力输入机构驱动转笼行星架转动，转笼行星架带动动力传递件运动，动力传递件与安装在工件架外支架上的链轮啮合的同时带动多个转笼驱动部件转动，转笼驱动部件带动转笼转动，使转笼行星架公转与转笼自转。