研磨装置

摘要

本发明提供一种研磨装置，能够更正确地判断研磨的终点。该研磨装置具有：研磨台（12）；旋转驱动研磨台的第一电动马达（14）；能够与研磨台一同保持被加工物的顶环（20）；和旋转驱动顶环的第二电动马达（22），通过第一电动马达使研磨台旋转，并且通过第二电动马达使顶环旋转，在由研磨台和顶环夹持的状态下研磨被加工物而能够使被加工物的表面平坦化，第一电动马达以及第二电动马达中至少一方的电动马达具有多相的绕组，研磨装置具有：加权部，进行对各相的电流比例赋予差值的加权；和检测部，通过检测由加权部而将加权设定得较大的相的电流的变化，来检测由研磨产生的所述电动马达的转矩变动。

主权项

一种研磨装置，用于将被加工物的表面平坦化，其特征在于，该研磨装置具有：研磨台；旋转驱动该研磨台的第一电动马达；能够保持所述被加工物的基板保持部；和旋转驱动该基板保持部的第二电动马达，所述第一电动马达以及第二电动马达中至少一方的电动马达具有多相的绕组，所述研磨装置具有：检测所述多相的绕组中的至少两个相的绕组的电流的电流检测部；基于所述电流检测部检测到的所述多相的绕组中的至少两个相的绕组的电流来生成合成电流的合成电流生成部；和基于由所述合成电流生成部所生成的合成电流的变化，来检测由所述被加工物的研磨产生的所述第一电动马达以及第二电动马达中至少一方的电动马达的转矩变动的转矩变动检测部。