发明名称 有机发光二极管显示器的薄膜电晶体导线结构以及制程
摘要 本发明是提供一种利用于有机发光二极管显示器的薄膜电晶体导线结构以及薄膜电晶体导线结构的制程。该薄膜电晶体导线结构是包含一闸极金属导线,该闸极金属导线是设置于一基板上。一介电层是设置并覆盖于该闸极金属导线以及该基板上。一金属导线层是设置于该介电层上,包含一源极金属导线以及一及极金属导线。一开口位于该闸极金属导线之上,是用以分离该源极金属导线以及该汲极金属导线。其中,该闸极金属导线以及该金属导线层所使用的金属材质是为银或是铜,该薄膜电晶体导线结构是以一黄光制程或是一镶嵌法制程来制作。
申请公布号 CN1531077A 申请公布日期 2004.09.22
申请号 CN03119331.5 申请日期 2003.03.14
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 李信宏;王宜凡;李纯怀;李世达
分类号 H01L23/52;H01L27/15;H01L33/00;H01L51/40;H05B33/00;G09F9/30 主分类号 H01L23/52
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 马娅佳
主权项 1、一种利用于有机发光二极管显示器的薄膜电晶体导线结构,该薄膜电晶体导线结构是包含:一闸极金属导线,该闸极金属导线是设置于一基板上;一介电层,是设置并覆盖于该闸极金属导线以及该基板之上;一金属导线层,该金属导线层是设置于该介电层上且位于该闸极金属导线的上方,包含一源极金属导线以及一汲极金属导线,其中由该介电层以隔离该闸极金属导线与该金属导线层;一开口,该开口是位于该闸极金属导线之上,是用以分离该源极金属导线以及该汲极金属导线;其中,该闸极金属导线所使用的金属材质是以选自于由银、铜所组成的族群中的元素。
地址 台湾省新竹市