发明名称 | 平板式三维定位/扫描装置 | ||
摘要 | 本发明涉及一种基于压电陶瓷管的平板式三维定位/扫描装置,其结构组成主要包括:1个矩形固定架、8个压电陶瓷管、16个绝缘片、8个弹性片、四个固定座以及1个样品台。每个压电陶瓷管的两端都粘接一个绝缘片,一端的绝缘片连同压电陶瓷管固定在矩形固定架的一个固定座上,另外一端的绝缘片粘接弹性片一端,位于中心位置的样品台固定到8个弹性片的另一端,形成柔性支撑结构。将8个压电陶瓷管外壁(或内壁)的4个电极按特定方式组合连接成三对电极,而其内壁(或外壁)的电极接地;三对电极分别与三对驱动电压连接,可实现三维定位和扫描,并具有微米量级的扫描范围和纳米级分辨率。 | ||
申请公布号 | CN101221116A | 申请公布日期 | 2008.07.16 |
申请号 | CN200710304237.9 | 申请日期 | 2007.12.26 |
申请人 | 北京航空航天大学 | 发明人 | 商广义;蔡微;徐平;姚骏恩 |
分类号 | G01N13/10(2006.01) | 主分类号 | G01N13/10(2006.01) |
代理机构 | 北京永创新实专利事务所 | 代理人 | 周长琪 |
主权项 | 1.平板式三维定位/扫描装置,包括:1个矩形固定架、8个压电陶瓷管、16个绝缘片、8个弹性片、四个固定座以及1个样品台,每个压电陶瓷管的两端都粘接一个绝缘片,并且两端分别与固定座和弹性片连接;4个固定座分别处于矩形固定架中四个边框的一端;弹性片与中心位置的样品台连接,形成柔性支撑机构。 | ||
地址 | 100083北京市海淀区学院路37号 |