发明名称 喷嘴基板、液滴喷头及其制造方法、以及液滴喷出装置
摘要 本发明提供一种可以实现排出特性提高、喷嘴密度高密度化的喷嘴基板、液滴喷头以及喷嘴基板、液滴喷头的制造方法和液滴喷出装置。其中,用于排出液滴的喷嘴孔(11)包括:形成为与硅基板表面垂直的第一喷嘴部(11a);第二喷嘴部(11b),与第一喷嘴部同轴设置,其剖面面积大于第一喷嘴部的剖面面积;以及倾斜部(11c),其剖面面积从第一喷嘴部朝向第二喷嘴部递增。
申请公布号 CN101327682A 申请公布日期 2008.12.24
申请号 CN200810126670.2 申请日期 2008.06.17
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 大谷和史;荒川克治
分类号 B41J2/14(2006.01);B41J2/16(2006.01) 主分类号 B41J2/14(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 余刚;尚志峰
主权项 1.一种喷嘴基板,其特征在于,包括:硅基板;以及用于喷出液滴的喷嘴孔,其中,所述喷嘴孔包括:第一喷嘴部,形成为与所述硅基板的表面垂直;第二喷嘴部,与所述第一喷嘴部同轴设置,剖面面积形成为大于所述第一喷嘴部;以及倾斜部,所述倾斜部的剖面面积从所述第一喷嘴部朝向所述第二喷嘴部递增。
地址 日本东京