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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Substrathaltevorrichtung (100) aufweisen: eine Trägerplatte (102) mit einer Aussparung (112) zum Aufnehmen mindestens eines Halterahmens (132a, 132b) zum Halten eines Substrats (220) mittels des mindestens einen Halterahmens (132a, 132b) in der Aussparung (112), wobei sich die Aussparung (112) von einer Oberseite (102a) der Trägerplatte (102) zu einer Unterseite (102b) der Trägerplatte (102) durch die Trägerplatte (102) hindurch erstreckt; wobei die Trägerplatte (102) mindestens einen Zentrierbereich (104) derart aufweist, dass sich eine Öffnungsweite (112a, 112b) der Aussparung (112) von der Oberseite (102a) in Richtung zu der Unterseite (102b) in dem mindestens einen Zentrierbereich (104) kontinuierlich reduziert, und den mindestens einen Halterahmen (132a, 132b), der mindestens einen Zentrierabschnitt (134a, 134b) derart aufweist, dass beim Einlegen des mindestens einen Halterahmens (132a, 132b) in die Aussparung (112) der mindestens eine Zentrierabschnitt (134a, 134b) einen Formschluss mit dem mindestens einen Zentrierbereich (104) bildet, wodurch der mindestens eine Halterahmen (132a, 132b) in der Aussparung zentriert gehalten wird. |
