メトロロジー方法及び装置、基板、リソグラフィシステム並びにデバイス製造方法

摘要

【課題】ターゲットサイズが縮小すると、より小さいＲＯＩを選択することに関連する欠点を回避する。【解決手段】リソグラフィプロセスによって基板上に形成されるメトロロジーターゲットは複数のコンポーネント格子を含む。ターゲットの像はコンポーネント格子によって回折された＋１次及び−１次放射を用いて形成される。検出された像内の関心領域（ＲＯＩ）はコンポーネント格子に対応して識別される。各ＲＯＩ内の強度値は、非対称性、それ故オーバレイエラーの測定値を得るために画像間で処理され、比較される。画像内に暗領域を設けるように、コンポーネント格子間に分離ゾーンが形成され、設計される。ある実施形態では、ＲＯＩは、それらの境界が分離ゾーンに対応する画像領域内に入るように選択される。この手段によって、ＲＯＩ内の位置変動に対する非対称性の測定耐性が高まる。暗領域はまた、画像内のターゲットの認識も支援する。【選択図】図８