Chemisch-mechanisches Polierkissen und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Es wird ein chemisch-mechanisches Polierkissen bereitgestellt, umfassend: eine chemisch-mechanische Polierschicht, die eine Polieroberfläche aufweist, wobei die chemisch-mechanische Polierschicht durch Vereinigen (a) einer flüssigen Komponente der Poly-Seite (P), umfassend: ein Amin-Kohlendioxid-Addukt und mindestens eines von einem Polyol, einem Polyamin und einem Alkoholamin, und (b) einer flüssigen Komponente der Iso-Seite (I), umfassend: ein polyfunktionelles Isocyanat, gebildet wird, wobei die chemisch-mechanische Polierschicht eine Porosität von ≥ 10 Vol.-% aufweist, wobei die chemisch-mechanische Polierschicht eine Shore D-Härte von < 40 aufweist und wobei die Polieroberfläche zum Polieren eines Substrats angepasst ist. Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben werden ebenfalls bereitgestellt.