加载埠及设备前端模组

摘要

本发明的课题为提供一种提高EFEM内的密闭性，删减EFEM使用的气体的供应量，并可谋求晶圆的品质提升的加载埠。其解决手段为邻接晶圆搬运室(2)而设置，用于进行晶圆搬运室(2)与FOUP(7)之间的晶圆(W)的搬出入，具备：构成晶圆搬运室(2)的壁面的一部份，形成使晶圆搬运室(2)内开放用的开口(42)的面板(31)；用于开口(42)开合的门部(61)；使得内部空间(Sf)可开合的盖部(72)与门部(61)对向地载放FOUP(7)并朝着面板(31)可进退的载放台(34)；及沿着开口(42)的周缘设置在面板(31)的载放台(34)侧的O环(44)，藉着将载放台(34)朝向面板(31)移动，构成使O环(44)弹接于FOUP(7)的盖部(72)的周围。