PIEZOELECTRIC DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING PIEZOELECTRIC DEVICE

摘要

본원의 압전 디바이스는 압전체 박막, 기능 전극, 반도전층, 지지 기판을 구비한다. 기능 전극은 압전체 박막의 제1 주면측에 마련되어 상기 압전체 박막에 전기기계 결합한다. 반도전층은 반도체 재료 또는, 금속과 그 금속의 산화물의 혼합 재료로 이루어지며, 압전체 박막의 제2 주면측에 마련된다. 지지 기판은 상기 반도전층을 사이에 개재하여 압전체 박막의 제2 주면측에 마련된다.