| 摘要 |
【課題】従来のイオンビームソースの問題を解決するイオンビームソースを提供すること。【解決手段】イオンビームソースは、磁場部と電極部とを含む。磁場部は、被処理物に対向する一側は開放されて他側は閉鎖され、一側には複数の磁極部がＮ極Ｓ極交互又は同じ磁極で離隔配置され、一側でプラズマ電子の閉ループを形成する。電極部は、閉ループの下端に配置される。イオンビームソースは、工程チャンバ内のプラズマ電子を閉ループに沿って回転させて工程チャンバ内の内部ガスからプラズマイオンを生成し、被処理物に供給する。【選択図】図１ |
