真空管新型排气工艺方法

摘要

本发明公开了真空管新型排气工艺方法，该方法在真空度达到10E-4~10E-3Pa时，短时间内将温度加热到450℃至470℃，此时封离排气嘴，这样可以使得真空管的真空度更高，同时由于封离排气嘴的时间比较短，对真空管的损伤比较小，高温也使得扩散泵抽真空效率提高，缩短了工时。保温温度设定逐次提高，温度梯度小，防止和减少膜层氧化，避免膜层分子迁移变色。10E-4~10E-3Pa的高真空，让真空管寿命大为延长。

主权项

一种真空管新型排气工艺方法，其特征是：其包括如下步骤：1).开启加热器预热，温度设置在80℃至120℃，到达设定温度时再开启机械泵预抽真空至100Pa以上；2).当预抽真空低于100Pa高于10E‑1 Pa时，加热器预热温度设定在180℃至220℃，不停泵，继续抽真空至10E‑1~1 Pa；3).关闭机械泵，同时开扩散泵，加热温度设定调高至380℃至420℃；4).抽真空至10E‑4 ~10E‑3Pa，加热温度设定450℃至470℃，当达到450℃至470℃时，封离排气嘴；5).关闭加热器，降温；6).蒸散吸气剂，起蒸时间为4至6秒，总蒸时间为14至16秒，蒸散频率在340 KHz至380KHz；7).收尾。