用于暗场检测之基于背景之检测;CONTEXT-BASED INSPECTION FOR DARK FIELD INSPECTION

摘要

本发明提供用于侦测一晶圆上之缺陷之方法及系统。一种方法包含基于一或多个设计片段将如何出现在由一晶圆检测程序针对一晶圆产生之输出中而变更该一或多个设计片段。该方法亦包含将该一或多个经变更设计片段对准于在该晶圆检测程序期间针对该晶圆产生之该输出。此外，该方法包含基于对准于该一或多个经变更设计片段之该输出而侦测该晶圆上之缺陷。