用于稳定化高温沉积的气冷式基材支撑件;GAS COOLED SUBSTRATE SUPPORT FOR STABILIZED HIGH TEMPERATURE DEPOSITION

摘要

本揭示案的实施例提供用于稳定基材温度的设备及方法，藉由：流动冷却气体之流动至基材支撑件中的冷却通道之入口，使用热交换器从冷却通道的出口接收冷却气体之流动，及释放冷却气体至最近环境，例如清理室或微环境。