硬遮罩形成方法及硬遮罩形成装置

摘要

提供一种能够形成具有可发挥蚀刻耐性之膜密度并且其膜应力亦为小的单一层之氮化钛膜之硬遮罩形成方法。本发明之硬遮罩形成方法，系包含有：在处理对象物(W)之表面上成膜氮化钛膜(F)之成膜工程；和使含氧分子吸附于氮化钛膜的表面上之吸附工程；和将前述氮化钛膜加热至既定温度之加热工程。