具有缓冲装置的螺线管致动阀

摘要

本发明提供一种具有柱塞的螺线管致动阀，该柱塞在螺线管产生的磁场的作用下可动地在套筒中移动，并且还包括缓冲装置，该缓冲装置用于减小当柱塞碰撞位于套筒中的顶部而弹回时由柱塞引起的噪音和磨损。该缓冲装置包括形成柱塞行程的极限的第一部件(11)和允许在缓冲运动中相对于第一部件移动的另一部件(7)。为了实现在真空系统中的应用，该缓冲装置包括允许对在套筒一端与缓冲装置之间限定的腔进行抽空的导管(29)。本发明还提供一种用于螺线管致动阀的缓冲器。

主权项

1、一种螺线管致动阀(1)，该螺线管致动阀包括柱塞导向套筒、在由相关联的螺线管(2)产生的磁通量的作用下可动地布置在所述套筒中的柱塞(5)、以及位于所述套筒中从而将所述套筒的第一分隔间与所述套筒的第二分隔间分开的缓冲装置，该缓冲装置包括：-附着在所述套筒中的第一部件(11)，-在允许所述第二部件相对于所述第一部件移动的连接件中连接至所述第一部件的第二部件(7)，以及-布置在所述第一和第二部件之间从而缓冲所述部件彼此之间的相对移动的弹性可形变部件(18)，其特征在于，所述缓冲装置包括用于在所述第一和第二分隔间之间形成流体连通的导管(17、39、34)。