二维压电光学扫描器

摘要

本发明公开了一种二维压电光学扫描器，它由传动件、反射镜和四片压电陶瓷构成，所述传动件由上金属板、下金属板、左金属板和右金属板组成，上金属板与下金属板平行，左金属板与右金属板平行，上金属板的两端分别与左金属板和右金属板的端部连接，左金属板和右金属板的另一端部分别与下金属板的两端连接，形成一个中间有一空腔的四边形结构；第一片压电陶瓷与第二片压电陶瓷对称固定在上金属板上，构成双压电晶片结构；第三片压电陶瓷与第四片压电陶瓷对称固定在下金属板上，构成双压电晶片结构；反射镜固定在右金属板上，且反射镜的中心线与空腔中心线重合。本发明二维压电光学扫描器，仅用两个双压电晶片驱动反射镜实现二维图像扫描，其器件加工简单，结构设计合理，同时适用于驱动器领域，实现二维驱动。

主权项

1、一种二维压电光学扫描器，由传动件(10)、反射镜(9)和四片压电陶瓷构成，其特征在于：所述传动件(10)由上金属板(5)、下金属板(6)、左金属板(7)和右金属板(8)组成，上金属板(5)与下金属板(6)平行，左金属板(7)与右金属板(8)平行，上金属板(5)的两端分别与左金属板(7)和右金属板(8)的端部连接，左金属板(7)和右金属板(8)的另一端部分别与下金属板(6)的两端连接，形成一个中间有一空腔(11)的四边形结构；第一片压电陶瓷(1)与第二片压电陶瓷(2)对称固定在上金属板(5)上，构成双压电晶片结构；第三片压电陶瓷(3)与第四片压电陶瓷(4)对称固定在下金属板(6)上，构成双压电晶片结构；反射镜(9)固定在右金属板(8)上，且反射镜(9)的中心线与空腔(11)中心线重合；传动件(10)和反射镜(9)为一体构件，传动件(10)采用线切割法一次加工成型，且在右金属板(8)的中间位置对称切割突出的金属片作为反射镜(9)；在加载同向交流电压时，反射镜(9)绕Y轴旋转角度β；在加载反向交流电压时，反射镜(9)绕X轴旋转角度α。