发明名称 |
一种移动式砷烷尾气处理装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种移动式砷烷尾气处理装置,其特征在于,包括与真空发生器连接的进口软管,真空发生器连接收集车的入口端,收集车内设有干式复合吸附剂,收集车的出口端通过出口软管与抽风系统连接。本实用新型主要作为车间抽风系统的辅助设备,针对发现砷烷泄漏意外或离抽风口较远处法发生泄漏时,减少砷烷扩散,保证周边环境的安全,优点在于其便捷性,灵活性,不受地点的限制;无需用水、电等公共资源,实现“无源”工作,有效降低环境污染。 |
申请公布号 |
CN205796881U |
申请公布日期 |
2016.12.14 |
申请号 |
CN201620452856.7 |
申请日期 |
2016.05.18 |
申请人 |
上海正帆科技股份有限公司;合肥正帆电子材料有限公司 |
发明人 |
卿勇;李东升 |
分类号 |
B01D53/04(2006.01)I |
主分类号 |
B01D53/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海申汇专利代理有限公司 31001 |
代理人 |
翁若莹 |
主权项 |
一种移动式砷烷尾气处理装置,其特征在于,包括与真空发生器(2)连接的进口软管(1),真空发生器(2)连接收集车(3)的入口端,收集车(3)内设有干式复合吸附剂,收集车(3)的出口端通过出口软管(4)与抽风系统(5)连接。 |
地址 |
201108 上海市闵行区莘庄工业区春中路56号 |