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发明名称 Molecular Contamination Control System
摘要
申请公布号 KR100478550(B1) 申请公布日期 2005.03.23
申请号 KR19997002146 申请日期 1999.03.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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