发明名称 |
RADIATION GENERATOR |
摘要 |
【課題】ターゲットに対する電子ビーム照射を使用して放射線を発生させることが可能な放射線発生装置を提供する。【解決手段】放射線発生装置は、ターゲットベースと、ターゲットと、保持アセンブリと、電子ビーム発生装置とを含む。ターゲットはターゲットベース上に配設される。前記保持アセンブリは前記ターゲットベースを保持する。電子ビーム発生装置は、ターゲットに対して照射されて放射線を発生させる電子ビームを発生させるように適合される。ターゲット、保持アセンブリ、及び電子ビーム発生装置は、ターゲットベースの同じ側に位置する。【選択図】図1 |
申请公布号 |
JP2015156369(A) |
申请公布日期 |
2015.08.27 |
申请号 |
JP20140257276 |
申请日期 |
2014.12.19 |
申请人 |
METAL INDUSTRY RESEARCH & DEVELOPMENT CENTER |
发明人 |
CHEN YEN CHUN;SHIH WEI HUNG;CHANG YI SA;YU TSUNG CHIH;CHENG MING HUI |
分类号 |
H01J35/08;H01J35/16;H01J35/26;H01J35/28 |
主分类号 |
H01J35/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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