加速度传感器及使用该加速度传感器的磁盘装置

摘要

本发明提供一种加速度传感器，其包括在长方体状的压电基板(21、22)的外侧主面配置导体膜(26、29)而构成的振动元件(2)、和夹持其一部分的第1支撑构件(3a、3b)，第1支撑构件(3a、3b)由弹性体构成，振动元件的弯曲点位于由第1支撑构件(3a、3b)夹持的支撑区域(91)内。由此，压电基板(21、22)中产生应变的区域变大，产生的电荷增加，输出电压增大，从而可提高加速度的检测灵敏度。

主权项

1.一种加速度传感器，其包括：振动元件，该振动元件包括在厚度方向上层叠有多个的长方体状的压电基板、按照在该压电基板的两主面互相对置配置的电荷检测电极、和在所述压电基板之间以隔着该压电基板与所述电荷检测电极对置的方式配置的其它的电荷检测电极；和支撑所述振动元件的第1支撑构件，所述振动元件包含：与所述第1支撑构件接触而被支撑的支撑区域；和在所述振动元件的长度方向的长度比所述支撑区域更长，未被所述第1支撑构件支撑的自由振动区域，所述第1支撑构件由弹性体构成。