| 摘要 |
본 발명은 유량 및 압력 감지 기판 제조방법에 관한 것으로서, (a) 실리콘 기판의 상부 및 하부에 제1 박막과 제2 박막을 증착하는 단계, (b) 상기 제1 박막의 상부에 유량센서인 제1 감지부와 발열부를 형성하는 단계, (c) 상기 유량센서의 상부에 PR 코팅을 형성하는 단계, (d) 상기 PR 코팅된 부분의 일부를 리소그래피 처리하는 단계, (e) 리소그래피 처리된 부분에 압력센서인 제2 감지부를 증착하는 단계, (f) 상기 PR 코팅을 리프트 오프하는 단계, (g) 상기 유량센서와 상기 압력센서에 전극을 각각 증착하는 단계, (h) 상기 유량센서 및 상기 압력센서의 상부에 제3 박막을 증착하는 단계, 그리고 (i) 상기 실리콘 기판 및 상기 제2 박막의 일부분에 KOH 식각을 통해 상기 실리콘 기판의 하부를 개방하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 이로 인해, 하나의 기판을 이용하여 온도, 유량, 유속 및 압력을 모두 감지할 수 있어, 유량 감지용 기판과 압력 감지용 기판을 따로 구비할 때보다 기판 설치에 소요되는 공간을 소형화할 수 있는 복합센서 기판의 제조공정을 제공할 수 있는 효과가 있다. |
