一种蒸发镀膜仪

摘要

本实用新型涉及一种蒸发镀膜仪，包括机架，所述机架上固定有真空室，所述真空室内顶部设置有基片台、内底部对应于基片台的下方位置设置有蒸发源，所述真空室外顶部设置有连接于基片台并用于驱动基片台匀速旋转的旋转电机。本实用新型提供的蒸发镀膜仪，将待镀工件安装在基片台，将待蒸发镀膜的材料放在蒸发坩埚里，启动旋转电机工作，基片台能够匀速转动，保证蒸发材料均布在基片表面，镀膜均匀，镀膜品质高。

主权项

一种蒸发镀膜仪，包括机架，其特征在于：所述机架上固定有真空室，所述真空室内顶部设置有基片台、内底部对应于基片台的下方位置设置有蒸发源，所述真空室外顶部设置有连接于基片台并用于驱动基片台匀速旋转的旋转电机。