| 发明名称 |
シリコンオンインシュレータ基板上に導波路の光分離を提供する方法および構造 |
| 摘要 |
光子デバイスが形成され、かつ導波路のコア材料が浅いトレンチ分離領域によって支持基板から光学的に減結合されるシリコンオンインシュレータ基板を提供する方法および構造が開示される。【選択図】図４Ｅ |
| 申请公布号 |
JP2015526883(A) |
申请公布日期 |
2015.09.10 |
| 申请号 |
JP20150516072 |
申请日期 |
2013.05.30 |
| 申请人 |
マイクロン テクノロジー， インク． |
发明人 |
ミード，ロイ イー． |
| 分类号 |
H01L27/15;G02B6/122;G02B6/13;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/15 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
