发明名称 |
真空管道 |
摘要 |
本发明涉及真空设备技术领域,特别涉及一种真空管道,包括第一管体、第二管体以及波纹管,所述的波纹管设置有两个以上,气体经过第一管体分流至两个以上的波纹管中,流过波纹管的气体再经过第二管体汇流至一起,第一管体和第二管体为刚性材料制成,真空管道的进、出气口同心布置,波纹管的管长方向垂直于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管关于该轴心对称布置。由于波纹管关于进气口的轴心对称布置且与轴心垂直,这样各波纹管的拉伸和压缩变形被互相抵消,而第一、二管体是刚性的,这样抽气时真空泵和真空腔体之间就不会发生位移;同时,由于这里设置了波纹管,这样真空泵的振动也不会传递给真空腔体,起到很好的隔振效果。 |
申请公布号 |
CN105673972A |
申请公布日期 |
2016.06.15 |
申请号 |
CN201610153969.1 |
申请日期 |
2016.03.16 |
申请人 |
安徽万瑞冷电科技有限公司;哈尔滨工业大学 |
发明人 |
何超峰;丁先庚;王辉;刘彦武;郁欢强;董相文;孙兴中;戴建彪;张海峰;卞荣耀;李阳;陈耀锋;张俊峰;武义锋;章学华 |
分类号 |
F16L39/04(2006.01)I;F16L27/11(2006.01)I |
主分类号 |
F16L39/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 |
代理人 |
马丽娜 |
主权项 |
一种真空管道,其特征在于:包括第一管体(10)、第二管体(20)以及波纹管(30),所述的波纹管(30)设置有两个以上,气体经过第一管体(10)分流至波纹管(30)中,流过波纹管(30)的气体再经过第二管体(20)汇流至一起,第一管体(10)和第二管体(20)为刚性材料制成,真空管道的进、出气口同心布置,波纹管(30)的管长方向垂直于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管(30)关于该轴心对称布置。 |
地址 |
230088 安徽省合肥市高新区海棠路189号 |