发明名称 Diffraktives polarisationstrennendes Element für unpolarisierte elektromagnetische Strahlung im UV-Bereich, System mit zwei solchen Elementen und Verfahren zur Herstellung eines solchen Elementes
摘要 Es wird bereitgestellt ein diffraktives Element zur Polarisationstrennung von unpolarisierter elektromagnetischer Strahlung im UV-Bereich, mit DOLLAR A einem für die UV-Strahlung transparenten Träger (1), der eine Vielzahl von voneinander beabstandeten, sich nicht geradlinig erstreckenden Furchen (2) aufweist, wobei der Abstand von zwei benachbarten Furchen größer als die Wellenlänge der UV-Strahlung ist, DOLLAR A wobei das diffraktive Element zur Polarisationstrennung die zugeführte unpolarisierte Strahlung in eine erste vorbestimmte Beugungsordnung mit einem ersten von zwei zueinander orthogonalen Polarisationszuständen und eine zweite vorbestimmte Beugungsordnung mit dem zweiten der beiden orthogonalen Polarisationszustände beugt, DOLLAR A und wobei über die Furchentiefe (h) eingestellt ist, ob die Strahlung der ersten vorbestimmten Beugungsordnung den ersten oder zweiten Polarisationszustand aufweist.
申请公布号 DE102004040534(B4) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 DE200410040534 申请日期 2004.08.20
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH;CARL ZEISS SMS GMBH 发明人 SANDFUCHS, OLIVER;STROESNER, ULRICH;BRUNNER, ROBERT;RUOFF, JOHANNES;GREIF-WUESTENBECKER, JOERN
分类号 G02B5/30;G02B5/18;G02B27/28;G03F7/20 主分类号 G02B5/30
代理机构 代理人
主权项
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