用于像素传感器的接触微透镜结构及其制造方法

摘要

本发明涉及一种用于通过消除形成在像素传感器阵列中相邻微透镜结构之间的间隙空间提高像素传感器的灵敏度的结构和方法。有利地，曝光和流动条件为使得相邻微透镜结构在水平横截面接触(结网)，而沿所有方向具有圆透镜形状。特别地，曝光和流动条件为使得每个接触微透镜结构形成为在水平横截面和在45度横截面具有匹配的一致曲率半径。

主权项

1.一种传感器，其包括像素的阵列，每个像素包括：包括用于接收光的多个微透镜结构的层；半导体衬底，其包括形成在其中用于接收入射到所述像素且通过各个微透镜结构被聚焦的光的光敏元件；以及一个或多个电介质材料层以及嵌入的金属化层，其设置在所述衬底与顶层之间，其中像素的每个微透镜结构沿一方向结网，使得所述结构接触所述阵列中相邻像素的微透镜结构，且使得所述微透镜结构的曲率沿所有方向是一致的，从而最大化从所有方向入射到所述微透镜结构的光的聚集。