发明名称 |
FLOW SENSOR ELEMENT AND ITS SELF-CLEANING |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Selbstreinigung eines Strömungssensorelements bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement auf einem Trägerelement angeordnet sind, wobei das Temperaturmesselement einen Platindünnfilmwiderstand auf keramischem Untergrund zur Temperaturmessung aufweist und mit einem zusätzlichen Platindünnfilmwiderstand geheizt wird, sowie ein Strömungssensorelement bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement auf einem Trägerelement angeordnet wird und die Verwendung eines solchen Strömungssensorelements. Ein erfindungsgemäßes Strömungssensorelement kann auch ein mehrteiliges Keramikbauteil aufweisen, das ein Trägerelement, ein Temperaturmesselement und ein Heizelement umfasst. Eine Messeinrichtung, insbesondere anemometrische Messeinrichtung eines Strömungssensors, enthält Schichtwiderstände in einer oder mehrerer Öffnung(en) eines Deckels oder eines Hohlkörpers. Die Schichtwiderstände sind erfindungsgemäß in der oder den Öffnung(en) befestigt. Zwei Schichtwiderstände unterscheiden sich bezüglich ihres Widerstandes um ein bis drei Größenordnungen. Bei einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors sind erfindungsgemäß ein Temperatursensor und ein Heizleistungssensor in ein Trägerelement gesteckt. Der Temperatursensor weist einen Temperaturmesswiderstand und einen Heizleiter als Platin-Dünn- oder Dickfilm-Widerstände auf keramischen Untergrund auf.</p> |
申请公布号 |
WO2007048573(A1) |
申请公布日期 |
2007.05.03 |
申请号 |
WO2006EP10232 |
申请日期 |
2006.10.24 |
申请人 |
HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH;WIENAND, KARLHEINZ;ULLRICH, KARLHEINZ;MUZIOL, MATTHIAS |
发明人 |
WIENAND, KARLHEINZ;ULLRICH, KARLHEINZ;MUZIOL, MATTHIAS |
分类号 |
G01F1/684 |
主分类号 |
G01F1/684 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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