CVD COATING DEVICE,申请号EP20010971962-传众专利搜索

发明名称	CVD COATING DEVICE
摘要
申请公布号	EP1313891(B1)	申请公布日期	2009.03.04
申请号	EP20010971962	申请日期	2001.08.24
申请人	AIXTRON AG	发明人	JUERGENSEN, HOLGER;KAEPPELER, JOHANNES;STRAUCH, GERD
分类号	C23C16/458;C30B25/12;H01L21/205	主分类号	C23C16/458
代理机构		代理人
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