| 发明名称 | 形成图案的方法和制作电子元件的方法 | ||
| 摘要 | 一种用于稳定地形成微细且精确图案的方法以及用于制作电子元件的方法。该图案化方法包括通过用液体组合物涂覆第一板(10)而形成导电膜(D)的步骤；通过将第二板(20)压向第一板(10)的形成有导电膜(D)的表面，将导电膜(D)的不需要的图案转印到第二板(20)的凸起(20a)的顶面以去除不需要的图案，从而在第一板(10)上形成导电图案(D′)的第二步骤；以及通过将第一板(10)的形成有导电图案(D′)的表面压向一基板的要被转印图案的表面来转印导电图案(D′)的步骤。假设第一板(10)的要涂覆液体组合物的表面的表面张力由α表示，由最大气泡压力法测量的在100msec时的液体组合物的动态表面张力由β表示，并且第二板(20)的凸起(20a)的顶面的表面张力由γ表示，液体组合物的成分或者第一板(10)或第二板(20)的表面材料设定为满足γ＞α≥β。还提供了一种制作电子元件的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101647095A | 申请公布日期 | 2010.02.10 |
| 申请号 | CN200880010726.6 | 申请日期 | 2008.01.10 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 福田敏生;野元章裕 |
| 分类号 | H01L21/285(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H05K3/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/285(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 彭久云 |
| 主权项 | 1、一种形成图案的方法，包括：第一步骤，通过将液体组合物涂覆到第一板上而形成液体组合物涂膜；第二步骤，通过将表面侧具有凸凹图案的第二板压到所述第一板的形成有所述液体组合物涂膜的表面侧，以将该液体组合物涂膜的不需要的图案转印到该第二板的凸起的顶面，由此去除该不需要的图案，从而在该第一板上形成图案；以及第三步骤，通过将所述第一板的形成有所述图案的表面侧压到转印接收基板的表面上，将所述图案转印到该转印接收基板的表面，其特征在于，当所述第一板的涂覆所述液体组合物的表面的表面张力由α表示，由最大气泡压力法测量的在100msec时所述液体组合物的动态表面张力由β表示，并且所述第二板的凸起的顶面的表面张力由γ表示时，所述液体组合物的成分或者所述第一板或所述第二板的表面的材料设定为满足γ＞α≥β。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||