发明名称 インプリント用硬化性組成物およびその保存方法
摘要 Provide is a curable composition for imprints, capable of effectively suppressing chipping of the cured pattern. A curable composition for imprints comprising (A) curable compound and (B) photo-polymerization initiator, having a moisture content ratio, relative to the total weight of all components excluding solvent, of less than 0.8% by weight.
申请公布号 JP5788759(B2) 申请公布日期 2015.10.07
申请号 JP20110228891 申请日期 2011.10.18
申请人 富士フイルム株式会社 发明人 榎本 雄一郎;児玉 邦彦;樽谷 晋司
分类号 H01L21/027;B29C59/02;C08F2/46 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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