发明名称 Optische Baugruppe
摘要 Eine optische Baugruppe (29) hat eine optische Komponente (30) zur Führung von Nutzlicht (3). Eine Komponentenhalterung (31) dient zur Halterung der optischen Komponente (30). Mindestens eine Schwingungsdämpfungseinrichtung (32) ist zwischen der optischen Komponente (30) und der Komponentenhalterung (31) angeordnet. Die Schwingungsdämpfungseinrichtung (32) hat einen Magneten und eine magnetorhelogoische Dämpfungskomponente. Auf letztere wirkt der Magnet zur Vorgabe einer Dämpfungswirkung der magnetorheologischen Dämpfungskomponente. Es resultiert eine optische Baugruppe, bei der eine Schwingungsdämpfung der optischen Komponente in der Komponentenhalterung optimiert ist.
申请公布号 DE102015223980(A1) 申请公布日期 2016.10.20
申请号 DE201510223980 申请日期 2015.12.02
申请人 Carl Zeiss SMT GmbH 发明人 Hartjes, Joachim;Mahlmann, Martin
分类号 G02B7/00;F16F15/02;G03F7/20 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
主权项
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