| 发明名称 |
PRÜFUNG DER DICHTIGKEIT VON SCHEIBENBONDVERBINDUNGEN UND TESTSTRUKTUR ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE502005001067(D1) |
申请公布日期 |
2007.08.30 |
| 申请号 |
DE200550001067T |
申请日期 |
2005.03.05 |
| 申请人 |
X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG |
发明人 |
KUMST, RONALD |
| 分类号 |
G01M3/28;B81C99/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01M3/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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