使用绝对微加工压力传感器的废气再循环系统

摘要

本发明公开了一种绝对压力传感器，该绝对压力传感器包括多个压力检测芯片和位于所述多个压力检测芯片上方的密封盖。可设有载体，压力检测芯片通过硬化的粘合剂安装到载体上。载体和压力检测芯片可附装到电路板上，该电路板组装有用于电连接到绝对压力传感器的多个表面安装部件。可设有用于在具有温度补偿的情况下数字地校准压力检测芯片的ASIC，其中ASIC在校准期间自动地控制其多个输出模式。

主权项

1.一种绝对压力检测系统，包括：绝对压力传感器，该绝对压力传感器由多个压力检测芯片和位于所述多个压力检测芯片上方的密封盖构成；载体，所述多个压力检测芯片通过硬化的粘合剂安装到所述载体上，其中所述载体和所述多个压力检测芯片附装到电路板上，所述电路板组装有用于电连接到所述绝对压力传感器的多个表面安装部件；以及用于在具有温度补偿情况下数字地校准所述多个压力检测芯片的ASIC，其中所述ASIC在校准期间自动地控制其多个输出模式。