发明名称 | 分配化学液体的系统和方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种在生产平板半导体或发光二极管的生产设施中分配液体化学产品的系统,该系统包括液体化学产品的储存装置、分配装置和应用装置,其中,该液体产品经分配装置从储存装置分配到应用装置。 | ||
申请公布号 | CN101087729A | 申请公布日期 | 2007.12.12 |
申请号 | CN200580044256.1 | 申请日期 | 2005.12.22 |
申请人 | 液体气体电子系统公司 | 发明人 | H·迪尔菲;J·唐泰;F·塔廖内 |
分类号 | B67D5/02(2006.01) | 主分类号 | B67D5/02(2006.01) |
代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 隗永良;林柏楠 |
主权项 | 1、一种在制造平板半导体或发光二极管的生产设施中分配液体化学产品的系统,所述分配系统包括液体化学产品的储存装置、液体化学产品的分配装置和液体化学产品的应用装置,其中该液体化学产品经分配装置从储存装置分配到应用装置,其特征在于所述分配装置至少一部分由天然聚合物制成,选自聚乙烯、聚丙烯、聚偏氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE),可以是取代的或未取代的,以及四氟乙烯(C2F4)和全氟烷基乙烯基醚[F(CF2)m CF2OCF=CF2]共聚物,通称为PFA(全氟烷氧基型共聚物)或MFA,其包含碳-氟链,典型的是包含通过氧原子连接的全氟烷基型侧链的聚四氟乙烯,用于醇和/或酸类液体由储存装置至该产品的应用装置之间的连接。 | ||
地址 | 法国巴黎 |