发明名称 WAFER DEMOUNTING METHOD, WAFER DEMOUNTING DEVICE, AND WAFER DEMOUNTING AND TRANSFERRING MACHINE
摘要
申请公布号 EP1624484(A4) 申请公布日期 2008.09.10
申请号 EP20030723344 申请日期 2003.05.13
申请人 MIMASU SEMICONDUCTOR INDUSTRY COMPANY LIMITED 发明人 TSUCHIYA, MASATO;MASHIMO, IKUO;SAITO, KOICHI
分类号 H01L21/68;B65G49/06;B65G49/07;B65G59/04;B65H3/08;B65H3/48;H01L21/00;H01L21/683 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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