PURGE APPARATUS AND PURGE METHOD

摘要

액츄에이터를 이용하지 않고, 노즐이 용기의 위치 결정을 방해하지 않도록 한다. 위치 결정 부재보다 먼저 노즐이 용기에 접촉했을 시, 노즐의 가이드면에 의해 용기를 가이드하고, 또한 용기로부터의 하중에 의해 노즐을 하강시켜 위치 결정 부재와 용기를 접촉시키고, 위치 결정 부재에 의해 용기를 위치 결정하고, 노즐로부터 용기에 퍼지 가스를 주입한다.