发明名称 |
铝材表面的类金刚石覆膜改性方法及其装置 |
摘要 |
本发明公开了铝材表面的类金刚石覆膜改性方法及其装置。装置包括绝缘体反应室,反应室与化学气相沉积的供气系统及真空系统相连通,在反应室内有陶瓷围成的封闭室和两块上下平行的电极,其中上电极位于封闭室中,其下表面紧贴封闭室的底板面,与等离子体激发脉冲电源相连,下电极接地并固定在封闭室外的加热器上,供气管的喷嘴位于两平行电极间。采用该装置以C<SUB>2</SUB>H<SUB>6</SUB>、H<SUB>2</SUB>、Ar组成的混合气体为反应源气体,在铝材表面涂覆类金刚石(DLC)薄膜。本发明工艺简单、成本低,实现了在铝材表面涂覆类金刚石薄膜,大大提高了Al/DLC复合材料的表面硬度、耐腐蚀性和电绝缘性等综合性能。且成膜速度快,膜厚可达4-6μm而不脱落,结合牢固。 |
申请公布号 |
CN1888132A |
申请公布日期 |
2007.01.03 |
申请号 |
CN200610052570.0 |
申请日期 |
2006.07.20 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
张溪文 |
分类号 |
C23C16/26(2006.01);C23C16/02(2006.01);C23C16/52(2006.01);C23G1/00(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/26(2006.01) |
代理机构 |
杭州求是专利事务所有限公司 |
代理人 |
韩介梅 |
主权项 |
1.铝材表面的类金刚石覆膜改性方法,其特征在于步骤如下:1)清洗片状铝材:将片状铝材在60℃0.5%稀盐酸浸泡10-30分钟,去离子水漂洗后于乙醇中超声波震荡处理,去离子水漂洗,浸泡于丙酮溶液中待用;2)以清洁的片状铝材为衬底,将其置于介质阻挡放电等离子体化学气相沉积装置的反应室中,并固定在上下平行的平板式电极之间,抽真空至本底真空3×10-3Pa,通入纯氩气和氢气,衬底加热至50~250℃,开启介质阻挡放电电源产生等离子体轰击衬底,以去除衬底表面残余氧化层和杂质;3)通入纯度为99.9%的C2H4气体,控制气体流量比为Ar∶H2∶C2H4=4∶0.5-1.5∶0.1-0.5,调整反应压强至100-500Pa,调整介质阻挡放电电源的频率1.2-2.0kHz、电压5-20kV,上下电极间距5-15mm,沉积类金刚石薄膜。 |
地址 |
310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号 |