发明名称 回流焊和清理集成工艺以及实施该工艺的设备
摘要 本发明公开了一种方法,所述方法包括对封装结构的焊区进行回流焊,以及在高于室温的清理温度下对所述封装结构实施清理。在所述回流焊步骤与所述清理步骤之间,所述封装结构未被冷却到接近于所述室温的温度。本发明还公开了回流焊和清理集成工艺以及实施该工艺的设备。
申请公布号 CN103143798B 申请公布日期 2016.06.08
申请号 CN201210202183.6 申请日期 2012.06.15
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 刘重希;黄见翎;张博平;黄英叡
分类号 B23K1/00(2006.01)I;B23K3/00(2006.01)I;B23K3/08(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 B23K1/00(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种方法,所述方法包括:对封装结构的焊料区进行回流焊;在缓冲区,使所述封装结构的温度下降,直至稳定在一个高于清理所述封装结构的清理温度的缓冲温度;以及在高于室温的清理温度下,在清理区对所述封装结构实施清理,其中在所述回流焊步骤和所述清理步骤之间,所述封装结构未被冷却到所述室温的温度,并且当所述封装结构进入所述清理区时,所述封装结构具有所述缓冲温度。
地址 中国台湾新竹