发明名称 |
回流焊和清理集成工艺以及实施该工艺的设备 |
摘要 |
本发明公开了一种方法,所述方法包括对封装结构的焊区进行回流焊,以及在高于室温的清理温度下对所述封装结构实施清理。在所述回流焊步骤与所述清理步骤之间,所述封装结构未被冷却到接近于所述室温的温度。本发明还公开了回流焊和清理集成工艺以及实施该工艺的设备。 |
申请公布号 |
CN103143798B |
申请公布日期 |
2016.06.08 |
申请号 |
CN201210202183.6 |
申请日期 |
2012.06.15 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
刘重希;黄见翎;张博平;黄英叡 |
分类号 |
B23K1/00(2006.01)I;B23K3/00(2006.01)I;B23K3/08(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
B23K1/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;孙征 |
主权项 |
一种方法,所述方法包括:对封装结构的焊料区进行回流焊;在缓冲区,使所述封装结构的温度下降,直至稳定在一个高于清理所述封装结构的清理温度的缓冲温度;以及在高于室温的清理温度下,在清理区对所述封装结构实施清理,其中在所述回流焊步骤和所述清理步骤之间,所述封装结构未被冷却到所述室温的温度,并且当所述封装结构进入所述清理区时,所述封装结构具有所述缓冲温度。 |
地址 |
中国台湾新竹 |