| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHT IN EINEM INTEGRIERTEN SCHALTKREIS MIT FEINEN UND BREITEN STRUKTUREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60102376(T2) |
申请公布日期 |
2005.02.24 |
| 申请号 |
DE2001602376T |
申请日期 |
2001.06.14 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS |
发明人 |
DELEONIBUS, SIMON |
| 分类号 |
G03F7/26;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/8234;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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